通过磁控溅射在玻璃上镀膜，第一天的时候膜还在，第二天膜就像是面粉似的，一碰就掉，为什么？ 急求

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属于大面积脱膜现象，实际上是结合力不好，根本原因是内应力释放。

以下措施可供参考：

1，保证玻璃的新鲜性，保存放置是否洁净。

2，检查前处理过程，去离子水是否洁净，药剂超声清洗后，是否保证了纯水清洗效果，（生产中考虑一下用的毛刷），最后一道清洗后更不可以随便接触化学药品或用化学药品擦拭（无水酒精最好）。

3，镀膜过程观察真空压力，有没有比平时异常升高；放的气体纯度和气流量是否稳定——换气瓶或气塞试试。

如果一次性或暂时性问题，多半是以上原因。

如果是在研发多层膜系，还要考虑改良膜层结构和工艺参数。有可能是膜层之间结合力不好导致脱落。有时候问题出在靶材成分和通入气体的反应上，有镀膜经验的人都知道，镀膜腔室内状况复杂，随着镀膜过程的延续和镀膜时间的延长随时会发生微小变化，这些微小的改变会影响到反应生成物的成分（原子比），如TiOx，SiNx等，通过清理腔体或调整通入的反应气体量可以解决。

希望以上建议会对您有所帮助。